平坦度

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  • santec,高精度ウエハー厚分布測定器を発売  

    santecは,光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し,高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した(ニュースリリース)。 この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を,グ […]

    2022.12.06
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