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名大ら,ベイズ最適化で成膜速度を2倍に

名古屋大学,理化学研究所,グローバルウェーハズ・ジャパンは,逐次最適化のための機械学習手法であるベイズ最適化を,化学気相成長法(CVD 法)によるエピタキシャルSi膜の成長プロセス条件の最適化へ応用することにより,成膜品 […]