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サブオングストロームの面粗さをどう測定するか?

レーザーシステムにおけるスループットの向上や損失低減に向けた継続的かつ揺るぎない進歩には,とりわけ高出力レーザーや短波長を使用する場合において,散乱を最小限に抑える光学部品が要求される。表面粗さを極めて低いレベルに抑える […]