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洋上風力発電
最近とみにエネルギー問題，電力問題がクローズアップされています。特に冬の寒い時期には暖房などでの電力消費量も多くなります。又，政府は「カーボンニュートラルの実現に向けて洋上風力発電は再生可能エネルギーの切り札」と位置付...
2022.12.19 -
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光学素子3—結晶，ミラー—
1.3.3 結晶 光学ガラスは製造過程で均質性を保つために結晶化を防ぐ。一方，結晶には構造に基づくクセはあるがガラスのように透過率も均質性もよい材料があり，製造面での難しさはあるものの，光学素子として使用される。前回の表...
2022.12.05 -
ステッパー・マルチレンズスキャナー（ニコン）その2
4. FX露光装置の大型化 フットプリント 前回の図3にて示したように，FX露光装置はガラス基板の大型化に対応した装置開発が行われていった。その結果当然のことながら，装置自体の大型化となった。図16はガラス基板面積に対す...
2022.12.05 -
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