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アサーマル化した撮像用レンズで熱膨張による画像性能への影響を軽減する

物質は温度が上がると膨張し,温度が下がると収縮する。材料の寸法変化の大きさは,熱膨張係数(CTE)と,材料が等方性か異方性かに関係する。また,透明な材料は温度によって屈折率が変化する。このような熱現象は,温度変化の激しい […]

1985年頃に市場に登場したフラットパネルディスプレー(FPD)の製造技術は格段に進歩を遂げた。ここではその製造装置のうち露光装置に焦点を当て,その技術的背景や性能を明らかにします。

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図1 フラットパネルディスプレイの開発(筆者作成1))

フラットパネルディスプレイ用露光装置の概要

1. フラットパネルディスプレイ製品の開発 フラットパネルディスプレイ(FPD)は,小型画面のスマートウォッチやスマートグラスや,中型のスマートフォン等,ノートPCやモニターといったパソコン関連,更に大型のTVや大型デジ […]

フラットパネルディスプレイ用露光装置の連載にあたって

半導体材料を使った電子デバイスは,電子機器に多く用いられ,1990年頃に提案されたPDA(パーソナルデジタルアシスタント)に代表されるユビキタス機器は,その後スマートフォンに進化を遂げた。またIoTを可能とする様々な家電 […]