マスクレス露光システム その2（GLV・LWL・LDI）
3. マイクロリボンミラー（MRM）を使ったGLV露光 Grating Light Valve（GLV）は，1996年設立のSilicon Light Machines社（SLM社）によって実用化された。SLM社はその後...
2023.03.27-
1985年頃に市場に登場したフラットパネルディスプレー（FPD）の製造技術は格段に進歩を遂げた。ここではその製造装置のうち露光装置に焦点を当て，その技術的背景や性能を明らかにします。
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マスクレス露光システム その1（DMD）
1. マスクレス露光装置の概要 マスクレス露光は，基本的にフォトマスクを用いずに直接描画によって露光する方式である。マスクレス露光方式は大まかに，用いるデバイスによって大別することができる。その主な方式は，デジタルミラー...
2023.03.06 -
マイクロレンズアレー露光システム（ブイ・テクノロジー）と可変開口マスクを用いた露光システム（大日本スクリーン製造）
1. マイクロレンズアレー露光装置の概要 マイクロレンズアレー（Micro Lens Array：MLA）を用いた露光装置は，㈱ブイ・テクノロジー（ブイ・テクノロジー社）が2011年に新しいスキャン方式の露光装置として提...
2023.02.10 -
プロキシミティ（日立ハイテクノロジーズ，日本精工，トプコン，大日本科研）
1. プロキシミティ露光装置の概要 プロキシミティ露光は，一般に近接露光とも呼ばれ，1970年台にフォトマスクを基板に密着させたコンタクト露光の欠点を補う形で登場した。コンタクト露光はフォトマスクを基板上のフォトレジスト...
2023.01.06 -
ステッパー・マルチレンズスキャナー（ニコン）その2
4. FX露光装置の大型化 フットプリント 前回の図3にて示したように，FX露光装置はガラス基板の大型化に対応した装置開発が行われていった。その結果当然のことながら，装置自体の大型化となった。図16はガラス基板面積に対す...
2022.12.05 -
ステッパー・マルチレンズスキャナー（ニコン）その1
1. FX露光装置の概要 ニコン㈱（ニコン社）のFPD用露光装置は，1986年に半導体露光装置用のステッパーをベースに縮小光学系を1：1の等倍系に変更し，ステージと搬送系をウエハ用からガラス基板用に改造するコンセプトで設...
2022.10.25 -
ミラープロジェクションアライナー（キヤノン）
1. ミラープロジェクションアライナーの概要 TFT-LCD用のミラープロジェクションアライナーは，キヤノン㈱（キヤノン社）が開発し，Mirror Projection Alignerの頭文字をとってMPAブランドで製造...
2022.09.22 -
黎明期のステッパー（MRS Technologies, Azores, Rudolph Technology）
1. Panel Printerの概要 Panel Printerは1997年に米国のMRS Technology Inc.（MRS社）から，TFT液晶ディスプレイ用として開発された露光装置である。この露光装置は，シリコ...
2022.08.25 -
フラットパネルディスプレイ用露光装置の概要
1. フラットパネルディスプレイ製品の開発 フラットパネルディスプレイ（FPD）は，小型画面のスマートウォッチやスマートグラスや，中型のスマートフォン等，ノートPCやモニターといったパソコン関連，更に大型のTVや大型デジ...
2022.07.25 -
フラットパネルディスプレイ用露光装置の連載にあたって
半導体材料を使った電子デバイスは，電子機器に多く用いられ，1990年頃に提案されたPDA（パーソナルデジタルアシスタント）に代表されるユビキタス機器は，その後スマートフォンに進化を遂げた。またIoTを可能とする様々な家電...
2022.06.29
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