塩素中性粒子ビーム

東北大ら，サブ10nm・3次元フィン型Geトランジスタを作製

東北大学の研究グループは，台湾の国立交通大學（NCTU），国立ナノデバイス研究所（NDL）と共同で，独自技術である超低損傷・中性粒子ビーム技術（加工，酸化プロセス）を用いた「高性能サブ10nm・３次元フィン型ゲルマニウム […]

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2016.12.07