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  • ウシオ,解像度1.5μmのステッパ露光装置を上市予定

    ウシオ電機は,半導体アドバンスドパッケージ向けステッパとして,解像度L/S=1.5μm,1ショット100mm角以上の露光フィールドを実現する露光装置「UX-59113」の開発目途がたち,2026年度中に上市予定であると発...

    2025.08.18

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