ニコンインステックは，半導体パッケージや電子部品，機械部品など，精密な被検物を対象としたCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を10月1日に発売する（ニュースリリース）。価格は2,200万円～。

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は，ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて，各種精密機器や電子部品などの寸法を自動で測定する装置。取得した画像を解析し，エッジを高速で正確に検出することにより，複雑な形状の被検物も素早く測定することができる。

今回発売する製品は，「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の基本性能を踏襲し，「NEXIVシリーズ」の中で最高精度の測定を実現した。厳密な品質管理が要求される各種測定用途に，幅広く対応するとしている。主な特長は以下の通り。

1. 高精度・高速な測定
高精度リニアエンコーダと精密動作ステージにより，高い測定精度を発揮。また，画像転送速度（フレームレート：30fps）が速く，光量調整時間も短いため，短時間での測定を可能にする。

2. 多様な被検物への対応
高性能TTLレーザーオートフォーカスにより，0.1mmレベルの透明サンプルの厚みも検出可能。また，リング照明の角度調整機構により，複雑な形状をしたエッジの検出技術も向上。機械部品，モールド部品から高密度プリント基板，および半導体の300mmウェハまで，多種多様な測定ニーズに応えるという。

3. 高い操作性と充実したソフトウェア
ティーチングファイル作成時の操作手順が少なく，「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能により，寸法測定を快適に行なえる。また，「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の各種ソフトウェアに対応し，画像の合成・解析や検査成績書の作成など，用途に合わせた機能の追加が可能となっている。