ルケオ,3000nm対応全自動近赤外歪検査器発売

ルケオは,全自動近赤外歪検査器「LSM-9100WNIR」の販売を開始した(製品ページ)。

この製品の検査方法は近赤外(NIR)3波長直線偏光方式で,測定物を配置し測定ボタンをクリックするだけで操作が完了する。

内蔵カメラで撮影した情報から全自動測定が可能で測定者の判断は不要のため,それに起因する測定誤差が発生しないとしている。

また,従来の歪検査器では測定が不可能であった有色樹脂製品の歪検査,シリコンウエハーの残留応力およびクラックの検査まで対応可能。3,000nmまでの歪測定を可能にした検査器は世界初だという。

さらに,2次元分布図上の断面のグラフ,任意に設定した領域のヒストグラム,2次元分布図の立体表示,測定結果のcsv保存,画像保存といった測定結果の解析に便利な機能がソフトウェアに含まれている。光源として高輝度LEDを採用しているため,光源の交換に関わるメンテナンスの手間やランニングコストを削減できるとしている。

この製品の主な検査対象は以下のとおり。
・透明/有色樹脂製品
・樹脂フィルム/シート
・シリコンウエハー
・水晶/石英/光学結晶

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