ルケオ,3000nm対応全自動近赤外歪検査器発売

ルケオは,全自動近赤外歪検査器「LSM-9100WNIR」の販売を開始した(製品ページ)。

この製品の検査方法は近赤外(NIR)3波長直線偏光方式で,測定物を配置し測定ボタンをクリックするだけで操作が完了する。

内蔵カメラで撮影した情報から全自動測定が可能で測定者の判断は不要のため,それに起因する測定誤差が発生しないとしている。

また,従来の歪検査器では測定が不可能であった有色樹脂製品の歪検査,シリコンウエハーの残留応力およびクラックの検査まで対応可能。3,000nmまでの歪測定を可能にした検査器は世界初だという。

さらに,2次元分布図上の断面のグラフ,任意に設定した領域のヒストグラム,2次元分布図の立体表示,測定結果のcsv保存,画像保存といった測定結果の解析に便利な機能がソフトウェアに含まれている。光源として高輝度LEDを採用しているため,光源の交換に関わるメンテナンスの手間やランニングコストを削減できるとしている。

この製品の主な検査対象は以下のとおり。
・透明/有色樹脂製品
・樹脂フィルム/シート
・シリコンウエハー
・水晶/石英/光学結晶

その他関連ニュース

  • ローム,VCSELとLEDの特長融合した赤外線光源開発 2024年04月09日
  • 日立ハイテク,パターンなしウエハー検査装置を発売 2024年03月15日
  • 農工大,極めて薄い赤外線吸収メタサーフェスを実現 2024年03月05日
  • ブイテク子会社,最速Siウエハー欠陥検査装置出荷 2023年12月13日
  • 東レエンジMI,半導体ウエハー外観検査装置を発売 2023年12月11日
  • トムラ,プラスチックフレーク用新型選別機を発表 2023年12月04日
  • オムロン,CT型X線はんだ自動検査装置を開発 2023年11月24日
  • 【光フェア】東栄電化,赤外線反射防止アルマイト展示
    【光フェア】東栄電化,赤外線反射防止アルマイト展示 2023年11月09日