ニコン,画像測定システムを発売

ニコンソリューションズは,電子,半導体部品など,精密な被検物を対象としたCNC画像測定システムの新たなラインナップ「NEXIV VMZ-S」シリーズを開発し,その第一弾として「NEXIV VMZ-S3020」を発売した(ニュースリリース)。価格は1,000万円~(仕様による)。

CNC画像測定システム「NEXIV」は,同社独自の光学技術と画像処理技術を用いて,電子,半導体部品などの寸法を自動で測定する装置。取得した画像を解析し,エッジを高速で正確に検出することにより,複雑な形状の被検物も素早く測定することができるという。

近年,自動車業界では,自動運転やEV市場拡大を背景に電装化が急速に進み,自動車に使用される電子,半導体部品が増加している。人々の命に関わるため,搭載される部品には厳格な品質管理が求められ,測定機器への期待は大きくなっているという。

「NEXIV VMZ-S3020」は,高精度リニアエンコーダと精密動作ステージによる高い測定精度を発揮しながら,ステージ移動と画像処理の高速化により,従来機種シリーズと比べて更なる高スループット化を実現。精度や再現性を損なわずに,測定タクトタイムの短縮を可能にしている。

また,歪みがない高品質画像により,視野内の中心付近でなくても信頼性の高い測定結果が得られる。被検物の形状に応じて垂直落射照明,透過照明,8分割リング照明の選択や,光量・照射方向を最適化することにより,検出の難しいエッジもシャープに捉えることが可能。1000点/秒の高速レーザースキャンにより,被検物の断面形状を取得,高さ方向の形状評価にも対応し,多種多様な部品の測定ニーズに応えるとしている。

さらに,シリーズ共通の寸法測定ソフトウエア「NEXIV AutoMeasure」により,快適かつ効率的に寸法測定が可能。単純形状を対象に,測定プログラムの作成工程の一部を自動化する機能を追加している。ステージや測定ヘッドの移動を操作するジョイスティックユニットは,より使いやすいデザインに一新しているという。

同社は,より大型なステージサイズのラインナップ「NEXIV VMZ-S4540」および「NEXIV VMZ-S6555」を現在開発中で,2021年後半に順次発売予定だとしている。

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