ニコン,精密品向けCNC画像測定システムを発売

ニコンインステックは,半導体パッケージや電子部品,機械部品など,精密な被検物を対象としたCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を10月1日に発売する(ニュースリリース)。価格は2,200万円~。

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は,ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて,各種精密機器や電子部品などの寸法を自動で測定する装置。取得した画像を解析し,エッジを高速で正確に検出することにより,複雑な形状の被検物も素早く測定することができる。

今回発売する製品は,「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の基本性能を踏襲し,「NEXIVシリーズ」の中で最高精度の測定を実現した。厳密な品質管理が要求される各種測定用途に,幅広く対応するとしている。主な特長は以下の通り。

1. 高精度・高速な測定
高精度リニアエンコーダと精密動作ステージにより,高い測定精度を発揮。また,画像転送速度(フレームレート:30fps)が速く,光量調整時間も短いため,短時間での測定を可能にする。

2. 多様な被検物への対応
高性能TTLレーザーオートフォーカスにより,0.1mmレベルの透明サンプルの厚みも検出可能。また,リング照明の角度調整機構により,複雑な形状をしたエッジの検出技術も向上。機械部品,モールド部品から高密度プリント基板,および半導体の300mmウェハまで,多種多様な測定ニーズに応えるという。

3. 高い操作性と充実したソフトウェア
ティーチングファイル作成時の操作手順が少なく,「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能により,寸法測定を快適に行なえる。また,「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の各種ソフトウェアに対応し,画像の合成・解析や検査成績書の作成など,用途に合わせた機能の追加が可能となっている。

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