ギガフォトンは,IoTの普及や3DNANDの爆発的拡大による半導体需要の急激な増加に対応するため,製品ラインナップの刷新プランを発表した(ニュースリリース)。
近年半導体の用途は,自動車を始め金融,医療,農業など拡大の一途をたどっており,半導体メーカーのコストダウンや歩留まり向上へのニーズが,これまで以上に高まってきた。
この状況へのソリューションとして,同社は,KrFから液浸ArFまですべての波長域で,2017年から出荷を開始した,スペクトルの制御性の大幅向上を図った新型液浸ArFレーザー「GT65A」のスペクトル向上のパッケージ運用を開始する。
また,3D化が進み需要が拡大しているNANDメモリー向けに,さらなる高性能化,高耐久化を図った新型KrFレーザーを2019年初頭に,新型ArFレーザを2019年中に発売する。また,従来機種についても,ほぼ同等の性能向上が可能となる「アップデートパッケージ」の発売を計画しているという。