ニコン,Global 450 Consortiumから450mmウェハ対応液浸露光装置を受注

ニコンは,Research Foundation for the State University of New York(ニューヨーク州立大学の研究財団,SUNY研究財団)との間で,プロセス開発向け450mmウェハ対応ArF液浸露光装置の販売とウェハパターニングの受託について契約を締結し,受注した。 装置の出荷は,2015年4月を予定している。

この450mmウェハ対応ArF液浸露光装置は,College of Nanoscale Science and Engineering(以下CNSE)に本部を置くGlobal 450 Consortium(以下G450C)の会員企業によって,プロセス開発,評価,デモンストレーション等に使用されることになる。G450Cの目的は,半導体製造工程における重要な転換点となる300mmウェハから450mmウェハへの移行が円滑に進むようサポートすることであり,CNSEのAlbany NanoTech Complexに最先端のインフラを構築して450mmウェハ対応装置の能力とプロセスを実証してゆく計画。

ニコンもエンジニアを現地に派遣し,リソグラフィに関するソリューションを提供する。450mmプロセス開発の機会をG450Cへ早期に提供することにより,450mmウェハ対応ArF液浸露光装置の業界標準化を目指す。今回の450mmウェハ対応ArF液浸露光装置の受注は,先般の大手デバイスメーカからの受注に次ぐもの。

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