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電子線

電子線の記事一覧

全8件中 1〜8件目を表示

  • QSTら，レーザー光照射で高エネルギー電子線を発生

    量子科学技術研究開発機構（QST），米カリフォルニア大学アーバイン校，カナダウォータールー大学は，細孔が多数開いたガラス板（マイクロチャンネルプレート）へのレーザー光照射により，放射線の一種である，高エネルギー電子線が発...

    2024.03.29

  • 日立ハイテク，高精度電子線計測システムを発売

    日立ハイテクは，高精度電子線計測システム「GT2000」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 半導体製造プロセスの進化に伴い，N2（2nm世代）およびA14（14Å世代）デバイスの研究開発が行なわれている。また，最...

    2023.12.13

  • 東北大ら，電子放出量を7倍にするコーティング開発

    東北大学，米ロスアラモス国立研究所，中国北京理工大学，日本原子力研究開発機構は，光電子顕微鏡と光電子分光法，および第一原理計算によって六ホウ化ランタン（LaB6）表面への六方晶系窒化ホウ素（hBN）コーティングによる仕事...

    2023.04.04

  • 筑波大，極短電子線パルスを簡便かつ汎用的に評価

    筑波大学の研究グループは，テラヘルツ波を用いたストリーキング法で得られたシグナルの低周波成分をうまく解析すれば，10兆分の1秒以上の電子線パルスを評価できることを示した（ニュースリリース）。 フェムト秒からピコ秒のパルス...

    2022.12.14

  • 東工大ら，＜100fsで観測可能な小型電子線装置開発

    東京工業大学，筑波大学，名古屋大学は共同で，光励起で起きる10兆分の1秒（100fs）以下の構造変化を観測するテーブルトップサイズ電子線回折装置を世界で初めて開発した（ニュースリリース）。 光励起で起きる原子分子レベルで...

    2022.06.02

  • 東大，セラミックスの焼結機構を原子レベルで解明

    東京大学の研究グループは，原子分解能を有する最先端の走査透過型電子顕微鏡（STEM）を用い，電子ビーム照射により粒界移動を促進し，粒界が近傍の原子空孔（原子の穴）を吸収しながらダイナミックに移動する様子を原子レベルではじ...

    2022.03.23

  • 日立ハイテク，EUV向け電子線検査システムを開発

    日立ハイテクは，電子線広視野検査システム「GS1000」を開発したことを発表した（ニュースリリース）。 近年，半導体デバイスの微細化が進むにつれ，先端デバイスメーカーは微細かつ高精度な加工が可能なEUV露光プロセスを導入...

    2021.12.14

  • DNP，マルチ電子ビーム装置をフォトマスク事業に導入

    大日本印刷（DNP）は，半導体用フォトマスクの製造において描画時間を大幅に短縮することが可能なマルチ電子ビームマスク描画装置を導入し，次世代半導体用フォトマスクの生産体制を強化する（ニュースリリース）。 現在の半導体は，...

    2016.12.14

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