ニコン,寸法を測定できる画像測定システムを発売

ニコンソリューションズは,半導体デバイスをはじめとした,電子部品などの寸法を自動で測定できる画像測定システム「NEXIV VMF-K」シリーズを発売すると発表した(ニュースリリース)。受注開始は2024年12月。

半導体デバイスの微細化・高集積化が進む中,その品質を維持するための検査工程はますます重要になっている。

この製品は,光学系のメカ設計見直しにより,高さ測定のスキャンスピードが向上。これにより,従来機種と比較し,約1.5倍のスループット向上を実現。また,従来の30倍に加えて,高倍率の45倍モデルをラインナップに追加した。半導体の最先端アドバンスドパッケージにおける,2μm以下の微細な回路線幅の測定ニーズに応えるという。

さらに,コンフォーカル光源のLED化による長寿命化や,半導体製造装置の安全基準に関する規格「SEMI S2/S8」に対応している。測定終了までの残り時間表示機能を追加し,ブラック,シルバーを基調としたファクトリーデザインに外観を一新している。

主な仕様は以下の通り。

型番VMF-K3040VMF-K6555
ストローク
(X × Y × Z)
300x400x150 mm650x550x150 mm
精度保証質量20 kg30 kg
測定精度
(Lは測定長さ(mm))
Eux, MPE Euy, MPE ±(1.2 + 4L/1000) μm
Euxy, MPE ±(2.0 + 4L/1000) μm
Euz, MPE ±(1 + L/1000) μm
光学倍率1.5x/3.0x/7.5x/15x/30x/45x
視野
(コンフォーカル光学系)
1.5x:7.80×5.82 mm
3.0x:3.90×2.91 mm
7.5x:1.56×1.17 mm
15x:0.78×0.58 mm
30x:0.39×0.29 mm
45x:0.26×0.19 mm
視野
(明視野光学系)

※電動5段階ズーム
1.5x:7.80×5.85~0.52×0.39 mm
3.0x:3.90×2.92~0.26×0.19 mm
7.5x:1.56×1.17~0.10×0.078 mm
15x:1.26×0.95~0.099×0.074 mm
30x:0.63×0.47~0.052×0.039 mm
45x:0.63×0.47~0.052×0.039 mm

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