オフィール,超短パルス光源用パワーメーター発売

オフィールジャパンは,「Ophir F150(200)A-CM-16サーマルセンサー」を発表した(製品ページ)。

この製品は,ナノ,ピコ,およびフェムト秒の範囲で高繰返しの超短パルスレーザーを測定するコンパクトな空冷のセンサー。

高繰返しのレーザーは想定よりも低いパワー密度で従来のセンサーのコーティングにダメージを与える可能性があるが,この製品は最大150W,断続的に最大200Wの平均パワーを連続的に測定でき,従来のコーティングを施したセンサーよりも高繰返しのパルスレーザーの高いパワー密度に耐えることができる。

これにより,半導体アプリケーション,PCBドリル,高度なフラットパネルディスプレーの製造,太陽電池,医療アプリケーションなどの材料のマイクロプロセッシングでの使用に適しているとする。

また,ディフューザーなしで計測できるため,ディフューザーの汚れによる影響も軽減される。さらに高感度でレーザー出力の非常に小さな変化を認識できるため,マイクロマシニングアプリケーションで必要とされる正確なレーザー制御にも対応する。

この製品は,マイクロマテリアルプロセッシングを対象とした「F80(120)A-CM-17」,「30(150)A-SV-17」などのシリーズであり,248nm〜9.4µmの波長のレーザーに対応する。100mWから150Wまでのレーザーパワーを連続的に測定する(断続的に最大200Wまで)。

センサーは有効口径16mmのファンで冷却され,非常に短いパルスによって引き起こされるアブレーションによって損傷を受けることがない独自の吸収体を備える。高出力密度,例えば35kW/cm2@20W,355nm(ナノ秒),および7kW/cm2@23W,355nm(ピコ秒)に耐えることができる。

同社の他のセンサー同様,同社のCentauri,StarBright,Vega,Nova II,StarLiteのスマートディスプレーと,Juno,Juno +コンパクトUSB PCインターフェースおよびEA-1イーサネットアダプタと連携する「スマートコネクタ」インターフェースが含まれている。

データは,バーグラフ付きデジタル数値,ライングラフ,パルスチャート<リアルタイム統計など,さまざまな形式で表示できる。 ディスプレーには,パワーとエネルギーの高度なロギング,統計,ヒストグラムなどのほか,高度な数学関数も備わっている。 各ディスプレーは,レーザー測定ヘッドの1つが接続されると,自動的にセンサーの初期設定を認識するという。

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