オーストリアEV Groupは，ユーザーを支援する新サービスとして，「EVGステップ＆リピート（S&R）マスタリングショップ」を設立したことを発表した（ニュースリリース）。

このサービスでは，最新のEVG製装置とクリーンルーム施設を使用して，ウエハーレベルおよびパネルレベルのナノインプリント・リソグラフィ（NIL）プロセス用ワーキングスタンプ作製のための大面積のマスターテンプレートとスタンプの受託製造を行なう。

ユーザーはコストの削減ができるため，NILを製品設計に取り入れる障壁が低くなり，AR（拡張現実）導波路，光センサー用の高度なマイクロオプティクス，マイクロレンズ，ナノフォトニクス，シリコンフォトニクスなどのデバイスやアプリケーションに利用できるようになる。

このサービスでは，S&Rマスタリングを使用することで，シングルダイのハードマスターから大面積のマスタースタンプを作製できる。これらのスタンプは，基板に機能構造をインプリントするために用いられ，このS&Rマスターを使用して，数十～数百枚のワーキングスタンプの複製が可能。

この複製によるインプリント方式は，高価なマスターに摩耗や欠陥が発生するリスクを最小限に抑えるという。また，300mmウエハー，パネルサイズの基板，R2R（ロール・ツー・ロール）製造用のインサートなど，これまでにない大型の基板上に，より大きなマスターモールドを複製することができるため，より多くのデバイスを同時に製造できるだけでなく，継ぎ目のない，個々のデバイスをより大きく製造することが可能になるとする。

さらにこのサービスは，ダイヤモンドターニング，レーザー/電子ビーム直描方式など，スループットが低く実装コストが高いために，大きな基板にスケールアップするのが難しかった従来のマスター製作プロセスと比較して，歩留まりと製造コストに大きなメリットをもたらすとし，最高品質のダイを用いて，ステップ＆リピートプロセスを実行することで，高品質なパターン形成を製造ラインで効率的に実現するとしている。