科学・技術

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国立天文台ら,電波観測として最高周波数となるテラヘルツでの天王星観測に成功

国立天文台ら,電波観測として最高周波数となるテラヘルツでの天王星観測に成功

国立天文台らの観測チームはアルマ望遠鏡において,自身が中心となって開発した「バンド10」受信機を使い,これまでに最高となる周波数帯で天王星の観測に成功した(ニュースリリース)。これにより,アルマ望遠鏡は,その観測能力がさ […]
埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大学 とアイテーオーは,多くの電子デバイスの製造工程に用いられているレジスト膜の塗布速度の高速化・膜厚の均一性に対応するため,光学式で膜厚を大面積一括に高速する測定技術を確立し,これを組み込んだ静電塗布装置およびリア […]