CVD

CVDの記事一覧

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  • 京大ら,超短パルスレーザーでNV中心を直接書込み

    京都大学と神戸大学は,超短パルスレーザーにより優先配向したNV中心の直接書き込みに成功した(ニュースリリース)。 ダイヤモンド中の窒素空孔(NV)中心は,量子情報デバイスに適用できる量子ビットとして広く注目されている。量...

    2023.12.26
  • 東大ら,半導体製造装置向け排ガス除害装置を開発

    科学技術振興機構(JST)は,東京大学とカンケンテクノに委託した研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)の開発課題「減圧プラズマによる高効率除害装置」の開発結果を成功と認定した(ニュースリリース)。 半導体やフラッ...

    2021.03.31
  • 早大ら,CNTフォレストの長尺化に成功

    早稲田大学と静岡大学は,カーボンナノチューブ(CNT)の新たな成長方法を開発し,従来最長の2cmを7倍長くした14cmのCNTフォレストの成長に成功した(ニュースリリース)。 CNTは炭素のみで構成され,軽量・強靭であり...

    2020.10.28
  • 名大ら,ベイズ最適化で成膜速度を2倍に

    名古屋大学,理化学研究所,グローバルウェーハズ・ジャパンは,逐次最適化のための機械学習手法であるベイズ最適化を,化学気相成長法(CVD 法)によるエピタキシャルSi膜の成長プロセス条件の最適化へ応用することにより,成膜品...

    2020.09.10
  • 日板,ライン上で厚さ0.7㎜ガラスに透明導電膜を付与

    日本板硝子は,CVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長)技術により,オンライン(ガラス製造工程)で薄板ガラス(厚み0.7㎜)上に,透明な導電性金属酸化物薄膜を製膜する事に成功した(ニュース...

    2018.03.12
  • OIST,ペロブスカイトPVの長寿命化/LEDの蒸着に成功

    沖縄科学技術大学院大学(OIST)は,ペロブスカイト太陽電池のエネルギー変換効率を落とさずに,その寿命を4倍延ばすことに成功した。また,ペロブスカイトLEDをガスを使った化学蒸着(CVD)によって作製することに成功した(...

    2017.08.18

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