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エッチング

エッチングの記事一覧

全5件中 1〜5件目を表示

  • 理研，超短パルスレーザーとエッチングで微細貫通穴作製

    理化学研究所（理研）は，超短パルスベッセルビームによる微細可溶部形成とその後の選択化学エッチングを用いてガラス製デジタルPCRチップを高速に作製することに成功した（ニュースリリース）。 従来のPCRをはるかに超える性能の...

    2024.01.12

  • キヤノンMJ，異方性エッチング加工装置を発売

    キヤノンマーケティングジャパン（キヤノンMJ）は，半導体製造におけるプラズマエッチング・アッシング装置「MAS-8220TP」を2022年9月1日に発売する（ニュースリリース）。オープン価格。 この装置は，近年自動車の電...

    2022.08.31

  • TEL，OLED向けプラズマエッチング装置を発売

    東京エレクトロン（TEL）は，第6世代（1500×1850mm）ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し，高精細プロセス向け新チャンバー「PICP Pro」を搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」お...

    2021.03.12

  • 産総研ら，GaNマイクロLEDの発光効率を5倍に

    産業技術総合研究所（産総研）と東北大学は，微小なGaN（窒化ガリウム）LED（マイクロLED）の高効率化技術を開発した（ニュースリリース）。 マイクロLEDを高密度に配置したマイクロLEDディスプレーは，次世代のウエアラ...

    2019.07.04

  • 東北大，表面欠陥抑制で表面濡れ性を自在に制御

    東北大学は，独自技術であるバイオテンプレート技術と中性粒子ビーム加工技術を融合して高均一・高密度・無欠陥の直径10nmサイズの均一で高密度な間隔制御された無欠陥シリコンナノピラー構造を作製することに成功し，その表面状態や...

    2018.10.29

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