TEL,OLED向けプラズマエッチング装置を発売

東京エレクトロン(TEL)は,第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し,高精細プロセス向け新チャンバー「PICP Pro」を搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」および「Betelex 1800 PICP Pro」を発売する(ニュースリリース)。

第6世代,スマートフォン向けを中心としたディスプレーにおいては,高精細OLEDの普及が進むと同時に,低消費電力化やユーザーインターフェースの高機能化など,さらなる技術革新が期待されている。これらの技術革新の実現には,高密度な回路パターンが必要とされるため,従来以上に厳格な製造装置の管理が求められている。

新製品は同社独自の「PICP」高密度プラズマ源(パネル基板上に極めて均一な高密度プラズマを生成するプラズマモジュール)による高精度なエッチング性能に加え,プラズマ空間の生成エリアを制御することが可能な新機能を搭載した。これにより,メンテナンスや歩留まりに影響するパーティクル発生を抑制させることが可能となり,従来製品よりランニングコストを削減することが可能だという。

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