マスク

マスクの記事一覧

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  • 三井化学とimec,EUVで戦略的パートナーシップ締結

    三井化学とimecは,2023年12月13日,極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結した(ニュースリリース)。 この戦略的パー...

    2023.12.19
  • 2020年マスク市場,2019年同等かあるいは増加

    電子ビーム(eBeam)技術の業界団体であるイービーム イニシャチブ(eBeam Initiative)は業界の識者の認識に関する年次調査を終え,第6回目となる,内製及び外販マスクメーカー10社の製造動向調査の纏めを終了...

    2020.09.28
  • マクセル,高精細OLEDパネル用マスクを量産

    マクセルは,精密電鋳加工技術(Electro Fine Forming:EF2)による有機ELディスプレー(OLED)パネル蒸着用高精細ハイブリッドマスクの量産を開始した(ニュースリリース)。 現在の有機ELディスプレー...

    2019.10.11
  • eBeam,EUVマスク検査の実現性を高評価

    電子ビーム技術の業界団体である米イービームイニシャチブ(eBeam Initiative)は2019年9月16日(現地時間),第8回目となる業界の識者の認識に関する年次調査が終了したと発表した(ニュースリリース)。 業界...

    2019.09.17
  • ウシオのEUV光源,量産プロセス向けに初検収

    ウシオ電機(ウシオ)は,検査装置メーカーより受注している複数のEUVリソグラフィマスク検査装置用EUV光源(EUV光源)のうち,量産プロセス向けEUV光源が初めて検収されたと発表した(ニュースリリース)。 EUVリソグラ...

    2019.07.17
  • eBeam,マスク市場の伸長とEUV実現に楽観的

    電子ビーム技術の業界団体であるイービームイニシャチブ(eBeam Initiative)は,第7回目となる年次調査が終了したと発表した(ニュースリリース)。 マスクメーカーを対象とした調査によると,マスク出荷量は昨年比2...

    2018.09.18

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