スパッタリング
スパッタリングの記事一覧
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【光フェア】東ソー，GaNなど各種ターゲット材を紹介
光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2022」（11月9日（水）～11日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，東ソー（可視光・次世代レーザー応用ゾーン ブースNo4V-09）は，各種スパッタリングター...
2022.11.11 -
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三菱マテ，スパッタリングターゲット量産技術センター開設
三菱マテリアルは，フラットパネルディスプレイや太陽電池等の基板の大型化に伴い，これに対応する円筒型，大型平板のスパッタリングターゲットの量産技術の開発およびその製造を加速するため，基幹工場である三田工場（兵庫県三田市）に...
2016.07.29
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