広視野レーザ顕微鏡によるナノ表面形状計測技術

参考文献
1)新田勇,下田茂,加藤康司,椎谷佳弘,セラミックスと金属の締りばめ部結合強度に及ぼす表面あらさと寸法の影響,日本機械学会論文集 C編,52 (481), 2503-2507, (1986).
2)新田勇,シュリンクフィッタ,トライボロジスト, 48 (5), 325-330, (2003).
3)新田勇,菅野明宏,岡本倫哉,長岡泰,シュリンクフィッタを用いた広視野レーザ顕微鏡,精密工学会誌,73 (11), 1226-1232, (2007).
4)新田勇,月山陽介,広視野レーザ走査型干渉計を用いた位相シフト不要な形状計測技術(特集 先端計測技術開発の展望),ケミカルエンジニヤリング,60 (9), 682-687, (2015).
5)Nitta I., Matsuzaki Y., Tsukiyama Y., Horita M., Sakamoto S., Thorough Observation of Real Contact Area of Copper Gaskets Using a Laser Microscope With a Wide Field of View, Journal of Tribology-Transactions of the Asme, 135 (4), 041103, (2013).
6)Nitta I., Tsukiyama Y., Tsukada T., Terao H., Evaluation of tribological properties of pick up roller measured using a laser microscope with a wide field of view, Tribology International, 67, 182-190, (2013).
7)Nitta I., Tsukiyama Y., Tsukada T., Terao H., Measurement of real contact area on thermal print head using a laser microscope with a wide field of view, Tribology International, 79, 162-173, (2014).
8)本合邦彦,月山陽介,鈴木天,新田勇,レーザスポット走査型干渉計の開発:―小型レンズ金型の形状計測―,精密工学会誌,80 (3), 302-307, (2014).
9)月山陽介,福島直幸,新田勇,広視野レーザ顕微鏡による円筒面全面のナノスケール計測,精密工学会誌,81 (7), 699-704, (2015).

10)福田直哉,後藤圭輝,月山陽介,新田勇,乗松航,楠美智子,高配向カーボンナノチューブ膜の変形挙動の解明,日本トライボロジー学会 トライボロジー会議2014春東京,28-29, (2014).

■Observation and Measurement Technology for Nanoscale Surface Profiles by a Laser Microscope with Wide Field of View
■Yosuke Tsukiyama

■Niigata University

ツキヤマ ヨウスケ

所属:新潟大学 工学部 助教

(月刊OPTRONICS 2016年2月号)

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