米MKS、ビームプロファイラーなど新製品を発表

米MKS Instrumentsは、レーザービームプロファイラーなどの新製品を発表し、日本市場でも販売を開始する。

今回発表したのは「Ophir SP403P SWIRビームプロファイラー」、「Ophir SP301Q コロイド量子ドット（CQD）ビームプロファイラー」、「Ophir Ring-Core BeamGage ソフトウェア」の3種類（「Ophir SP403P SWIRビームプロファイラー」製品ページ）（「Ophir SP301Q CQDビームプロファイラー」製品ページ）（「Ophir Ring-Core BeamGage ソフトウェア」製品ページ）。

「Ophir SP403P SWIRビームプロファイラー」は、SWIR（1440nmから1605nm）波長帯におけるビーム測定に適したもので、アクティブエリアは12.3mm×12.3mm、ピクセル数は4512×4512、ピクセルピッチは2.74μmで、ビームサイズ600μmから12.3mmまで対応できる。

これにより、広いSWIRビームを切り取ることなく解析できる視野を確保し、通信ファイバレーザーのプロセス制御、産業用レーザー加工、防衛・航空宇宙用途、光通信、先進SWIRシステムなど、さまざまな研究開発や生産環境において、詳細で再現性の高いビーム品質測定を実現する。

「Ophir SP301Q CQDビームプロファイラー」は、コロイド量子ドット（CQD）センサーを採用することで、InGaAsセンサーに比べて低コスト化を実現するとともに、その同等の精度と解像度を実現する。

高感度、広いダイナミックレンジ、そして高速シャッタースピードを備え、レーザーの形状、サイズ、出力の詳細な解析も可能。精密な材料加工、自動運転車向けLiDAR、リモートセンシング、光通信、防衛用途などに最適な設計となっている。

また、400nmから1700nmまでの広範な波長範囲でレーザープロファイルを特性評価することができる。特に、アイセーフと高い大気透過性を備えた1550nmで動作するSWIRレーザーに最適。このプロファイラーは、9.6mm×7.7mmのアクティブエリアと640×512ピクセル（VGA）解像度を得ることができる。

「Ophir Ring-Core BeamGage ソフトウェア」は、業界標準のビームプロファイリング手法を用いて、リングコア形状のビームを正確に特性評価するために設計された商用ソフトウェア。レーザー溶接や積層造形（選択的レーザー溶融）などの産業用途に適したものとしている。

このソフトウェアにはレーザービームの正確な測定に必要なすべての計算機能が搭載されている。リングコアソフト機能として、リングとコアの間の精密なアライメントと調整を可能にする「ポーラーチャート」、さらにring-to-coreオフセット、パワー比、ギャップサイズ、直径、重心などの主要パラメータの測定機能を備えている。

このソフトウェアは、ほとんどのOphirビームプロファイリングカメラと互換性があり、リングとコアのレーザープロファイルをリアルタイムで総合的にあるいは個別に測定できるとしている。