米MKS,最新のレーザービームアナライザーを発表

米MKS Instrumentsは,「Ophir BeamSquared SP204S-PRO」および「Ophir BeamSquared SP1203 M2ビームアナライザー」について発表した。(「SP204S-PRO」製品ページ)(「SP1203 M2」製品ページ

「BeamSquared SP204S-PRO」M2アナライザーは,半導体,ディスプレー製造,医療システム,防衛,産業用途における先進的なレーザー製造向けの高精度ビームコースティックおよびプロファイリングシステム。

コンパクトで完全自動化されており,標準および大径の連続波(CW)レーザーおよびパルスレーザーの伝搬特性を迅速かつ正確に測定する。拡張されたレイリー範囲(最大40m)にも対応。高精度な生産環境において,M2,ウエスト位置,非点収差,およびビーム対称性などの主要なビームパラメータの正確な特性評価が必要なユーザー向けに設計されている。

大径ビームのウエスト位置測定の大幅な改善および非点収差測定精度3%を達成しており,より高い精度のビーム伝搬および品質パラメータを提供し,レーザーパラメータ測定の機器間の一貫性を維持する。

「BeamSquared SP1203」アナライザーは「Ophir SP1203 GigE カメラ」を搭載しており,より小さなビーム径のレーザー(SWIRおよびNIR範囲で最大150μm)の正確な測定が可能。より長いレイリー長を持ち,より狭いスポットに焦点を合わせる必要がある場合に適している。これにより,通信,先進的な製造(溶接,切断,3Dプリント),自律走行車両(LiDAR),および医療機器(眼科および光干渉断層撮影)などの幅広い先進的な用途で使用できる。

これらの製品には「Ophir BeamSquared」ソフトウェア,光学系,および高解像度カメラが含まれている。

また,より長い光学系と特許取得済みの「UltraCal高度キャリブレーションソフトウェア」を備えており,最大40mのレイリー範囲を持つレーザーの高精度ビーム解析を実現する。「UltraCal高度キャリブレーションソフトウェア」はX軸およびY軸の両方でビームの伝搬特性を測定し,ウエスト径,全角での拡がり角,ウエスト位置,レイリー長,M2 またはKおよびBPPファクター,非点収差,非対称性などを含む。

システムには,焦点を通るビームの挙動を視覚的に確認するための2Dまたは3Dビームプロファイルが表示され,3Dスライス表示や,レポートに3D表示を追加する機能も含まれる。レポートには,設定情報,レーザー測定,さまざまな統計データに加えて,ビームコースティックチャートを組み込むことができる。.Netコンポーネントを介した自動化インターフェースにより,ユーザーは「BeamSquared」システムのレーザービーム解析および処理能力を組み込んだカスタムアプリケーションを構築することも可能となる。

これらの製品群は作業スペースの最適化のために水平または垂直に設置することができる。各アナライザーには,400~1,000mmの従来の集光レンズが装備されており,「BeamSquared SP204S-PRO」M2アナライザーは特に長いレイリー範囲のレーザー(40m)で使用するために最適に設計された特別校正済みレンズが装備されており,長いウエスト位置と大きなビームを伴う場合に適している。

これらの製品は,オフィールジャパンが日本国内にて販売する。

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