SCREENセミコンダクターソリューションズは,スクラバ方式の枚葉式ウエハー洗浄装置(スピンスクラバ)の新たなラインアップとして,200mmウエハー対応モデル「SS-3200 for 200mm」を開発すると発表した(ニュースリリース)。2024年12月に販売を開始。
近年,EV・自動運転関連の車載デバイスや電力制御用機器を中心に,次世代のパワーデバイスへの需要が急速に高まっている。また,半導体製造装置メーカーにおいては,デバイスの製造プロセスにおける省エネルギー化をはじめ,環境負荷の低減が責務となっている。
このような動向を背景に同社は,200mmウエハーに対応したスピンスクラバ「SS-3200 for 200mm」を開発した。この装置は,スピンスクラバのデファクトスタンダード「SS-3200」で評価の高いウエハー洗浄技術,チャンバー設計,搬送システム,プラットフォームなどを,200mm対応装置として継承し,最適化したという。
200mm向けスピンスクラバとして業界最高レベルとなる,同社従来モデル比で3倍を超える最大毎時500枚のハイスループットを実現している。また,装置稼働時のウエハー1枚当たりの純水使用量の削減を実現するなど,環境負荷を低減する装置だとしている。
さらに,スライドアウト式スピンチャンバーの採用に加え,搬送エリアへのアクセスが容易なため,メンテナンス性にも優れている。その他,従来モデルと同様にオプションでホットプレートの搭載も可能なため,MEMSなど立体構造のデバイスの乾燥にも最適だという。