フォトテクニカは,カナダGentec-EO「内蔵球⾯ディテクタIS(Integrate Sphere)1kW」の販売を開始した(製品ページ)。
Gentec-EOのレーザーパワー・エネルギー測定用製品は,あらゆる種類のレーザーに対応し,0.3nW~100kW,μJ~500J,UV~IRまでカバーしている較正済センサー。レーザーの高出力化・高エネルギー化に対応できるディテクタのニーズが高まり,新しい製品が開発されていたという。
積分球IS(Integrate Sphere)を内蔵した統合型の「内蔵球面ディテクタ」は,フォトディテクタの迅速な応答(立ち上がり時間)とサーマルディテクタの高平均出力対応を組み合わせた技術で,高速で高出力を計測することが可能。
高速シリコンセンサーを搭載しており,フォトダイオードと同様に高速に応答できる。積分球の球面には独自のサーマル耐性コーティングが施されており,温度補償された高精度計測が可能だとしている。
このうち「IS50A-1kW-RSI-INT」は口径φ50mm,1kW,Integra(PC出力)対応で,「QED(高エネルギー密度)」タイプのパワーメータは,高出力用アブゾーバーであると同時に高エネルギーや高繰返しにも対応でき,微細加工,半導体加工,リソグラフィなどに使用できるという。