ウシオ,投影露光装置の生産能力を再増強

ウシオ電機は,最先端ICパッケージ基板の更なる需要増に対応するため,分割投影露光装置「UX-5シリーズ」の生産能力増強の設備投資を決定したと発表した(ニュースリリース)。

今回の投資は2019年に続くもの。IoTの進展に伴い,大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要等が想定を上回っており,それに伴い高い解像性や重ね合せ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加しているため,同基板向け露光装置の更なる増産に向けた投資が必要と判断した。

御殿場事業所に15億円(予定)を投資し,既存の生産能力を約1.3倍以上に増強する。2021年度上期にレイアウトの変更および生産設備の増強を開始し,2022年度上期中に生産を開始するとしている。 

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