科学・技術

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埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大学 とアイテーオーは,多くの電子デバイスの製造工程に用いられているレジスト膜の塗布速度の高速化・膜厚の均一性に対応するため,光学式で膜厚を大面積一括に高速する測定技術を確立し,これを組み込んだ静電塗布装置およびリア […]