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ギガフォトン,EUV集光ミラー反射率低下量を更新

ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源について,最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源にて集光ミラー反射率低下量-0.4%/Bplsを達成し,ボトルネック解消へ大 […]
原研,3次元測定可能なガンマカメラを開発

原研,3次元測定可能なガンマカメラを開発

日本原子力研究開発機構(原研)は,東京電力福島第一原子力発電所(福島第一原発)の円滑な廃炉作業に向けて,建屋内の汚染分布を測定する小型軽量ガンマカメラ(小型コンプトンカメラ)を開発し,測定結果を3次元的に表示するシステム […]