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東工大,強誘電性の窒化物強誘電体を薄膜化

東京工業大学は,強誘電体の中で最も高い強誘電性を持つことが報告されている窒化アルミニウムスカンジウムについて,スカンジウムを低濃度にすることによって,従来よりも高い強誘電性を発現する膜の作製に成功した(ニュースリリース) […]