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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノンは,4台の半導体製造用ナノインプリント装置をクラスター化したシステムを2016年にも量産することを,第62回応用物理学会春季学術講演会(講演番号12p-C3-4)で明らかにした。   同社は,2004年 […]
NICTと光伸光学工業,量子ドットゲインチップによる狭間隔2波長同時発振レーザを開発

NICTと光伸光学工業,量子ドットゲインチップによる狭間隔2波長同時発振レーザを開発

光伸光学工業は,情報通信研究機構(NICT)が開発したサブナノ層間分離技術等の結晶成長技術を使い,量子ドットゲインチップを用いた狭間隔2波長同時発振レーザ光源を開発した(ニュースリリース)。 電気駆動でミリ波やテラヘルツ […]
スペクトロニクス,高出力ピコ秒レーザ発振器の研究・開発を強化

スペクトロニクス,高出力ピコ秒レーザ発振器の研究・開発を強化

スペクトロニクスは,産業革新機構より5億円の出資を受け,レーザ発振器と加工用光学系の製造販売事業を拡大させる(ニュースリリース)。 同社が開発しているのはピコ秒レーザで,パルス幅50psを中心とする製品をラインナップ。欧 […]