液浸スキャナー

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  • ニコン,半導体デバイス用ArF液浸スキャナー開発

    ニコンは,高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し,最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進め,2023年の発売を予定している(ニュースリリース)。 DX(デジタルトラン...

    2021.10.20

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