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プラズマ

プラズマの記事一覧

全58件中 51〜58件目を表示

  • 阪大ら，強磁場によるレーザープラズマ閉込に成功

    大阪大学，仏ボルドー大学，九州大学，台湾国立中央大学は，大阪大学の激光XII号レーザーで生成した高温かつ高密度なプラズマに，ネオジム磁の200倍程度の強さを有する，200テスラの磁場を外部から加えることで，高密度プラズマ...

    2017.05.16

  • 古河電工，レーザー+プラズマダイシング向けテープを開発

    古河電気工業は，「レーザーグルービング（溝加工）＋プラズマダイシング工法」向けの新たな半導体用テープ「プラズママスク付きバックグラインド（BG）テープ」及び「エキスパンド分割用ダイシング・ダイアタッチフィルム（D-DAF...

    2017.03.01

  • パナと東京精密，ウエハ加工装置で協業

    パナソニック ファクトリーソリューションズと東京精密は，メタル配線のあるセンサーやメモリーなどの半導体チップをウエハーからダメージレスで切り出す技術として，「レーザーグルービング（溝加工）＋プラズマダイシング工法」の普及...

    2017.02.20

  • 阪大，レーザーによる効率的な粒子加速に成功

    大阪大学は，レーザーの光を使って粒子を加速する新しい手法を発見し，必要なレーザー強度を従来の100分の1に効率化した（ニュースリリース）。 レーザーの光を極めて短い時間（およそ1兆分の1秒）に小さい領域（数10ミクロン）...

    2017.02.15

  • 東工大ら，プラズマで植物にタンパク質を導入

    東京工業大学と農業・食品産業技術総合研究機構は共同で，大気圧低温プラズマを用いて植物細胞にタンパク質を導入することに成功した（ニュースリリース）。 二酸化炭素または窒素で生成した大気圧低温プラズマをタバコ葉に数秒照射した...

    2017.02.15

  • 日立ハイテクとピコサン社，原子層堆積装置を共同開発

    日立ハイテクノロジーズとフィンランド Picosun Oy（ピコサン社）は1月30日，プラズマを利用した原子層堆積（Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition，PE-ALD）装置の共同...

    2017.02.01

  • サクラクレパス，プラズマ処理の評価ツールを商品化

    新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトの成果をもとに，サクラクレパスは，プラズマ処理効果を簡便に可視化する半導体製造装置用の評価ツール，「プラズマインジケータ™PLAZMARK® ウエハー型」（セラミ...

    2016.12.13

  • NIFSら，多価イオンからの発光を計測

    自然科学研究機構 核融合科学研究所（NIFS)と上智大学は共同で，大型ヘリカル装置（LHD）で生成される高温プラズマの内部に，高原子番号の元素を入射し，極端紫外領域の発光スペクトルを計測することで，過去に実験的に観測され...

    2016.07.27

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