サクラクレパス,プラズマ処理の評価ツールを商品化

新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)プロジェクトの成果をもとに,サクラクレパスは,プラズマ処理効果を簡便に可視化する半導体製造装置用の評価ツール,「プラズマインジケータ™PLAZMARK® ウエハー型」(セラミックタイプ)を開発し,2017年1月に商品化する(ニュースリリース)。

サクラクレパスはNENOの「新エネルギーベンチャー技術革新事業」において,プラズマに対する高い変色性能と高耐熱性を有する色材を開発した。この製品はこの成果をもとにしたもの。

プラズマ処理の評価には,光学測定やプローブによる電気的評価方法が一般的だが,それぞれ分布を評価するには課題がある。サクラクレパスが開発したウエハー型インジケータは,変色度合からプラズマ処理効果を視覚的に判別することが可能。これにより,測定時間を短縮でき,またプラズマの不均一要因を視覚的に瞬時に判断できる。

従来品は基板表面や装置内に自由に貼り付ける形状だったが,今回開発した製品は,ウエハー形状を実現したため,ユーザーは普段使っているウエハーと同じハンドリングで,装置の状態を簡便に評価することができ,半導体製造装置稼働率の向上,装置間の機差解消に貢献できるとしている。

まずはLEDやMEMS,タイミングデバイス等の各種電子デバイスの半導体製造装置市場向けに,基板サイズφ4インチ,φ6インチ型を2017年1月よりサンプル出荷する。そのフィードバックから変色性能のチューニングを実施した上で,2017年4月より本格的な量産体制に移行する。

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