米MKS Instrumentsは，赤外線（IR）の領域で500fs未満の超短パルスで200Wを超える出力，200μJを超えるパルスエネルギーを提供する産業用フェムト秒レーザー，Spectra-Physics「IceFyre FS IR200レーザー」を発表した（ニュースリリース）。

この製品は，シングルショットから50MHzまでの幅広い繰返し周波数，TimeShiftプログラマブルバーストモード動作，パルスオンデマンド（POD）および位置同期出力（PSO）トリガーにより，卓越したパフォーマンスと優れた柔軟性を実現するという。

この製品は，先端エレクトロニクス，ディスプレー，クリーンエネルギー，医療用デバイスに用いられる，ガラス，ポリマー，金属，サファイア，多結晶ダイヤモンドや様々な材料などにおいて，要求の厳しい高速かつ高品質な微細加工など，多くの産業用途に適しているという。

特許出願中のこの製品は，MKSの経験とフェムト秒レーザー技術に基づいて構築されており，厳しい環境認定テストをクリアし，高い信頼性と低い維持コストを実現。完全に自動化され，コンピューター制御されたレーザーは，24/7運転においても出力，ビームパラメーター，およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し，要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供するとしている。

なお，この製品の「It’s in the Box」設計は，レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し，簡便にインストールできるパッケージとなっている。

この製品はスペクトラ・フィジックスが，日本国内にて販売する。

この製品の主な特長は以下のとおり。
・最大>50W UVおよび>200W IRの最高平均出力
・最高品質の微細加工を実現するフェムト秒超短パルス
・優れたアブレーション効率での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能
・幅広い繰返し周波数
・正確なパルス制御のためのパルスオンデマンド（POD）および位置同期出力（PSO）トリガリング
・一貫性のあるIceFyre FSファミリー形状デザイン
・業界をリードするコストパフォーマンス
・「It’s in the Box」コンセプトによるコンパクト設計
・24/7運転を可能にする信頼性

この製品の主なアプリケーションは以下のとおり。
・ガラス加工
・OLED，AR/VR，microLEDディスプレー加工
・太陽電池スクライビング，穴あけ
・5G PCBの切断，穴あけ
・医療用デバイス加工
・ウェーハスクライビング，ダイシング
・セラミックス加工
・ファインメタル加工
・ポリマー切断