千葉大,レーザーがダイヤモンドに与える影響を解明

著者: sugi

千葉大学の研究グループは,レーザーの照射により絶縁体であるダイヤモンド内部の一部が変質して導電性を示す現象について,試料に照射されるエネルギーの総量が小さいほど変質領域の導電性が高くなる,すなわちエネルギーが小さいほど変質量が多くなるという特異な現象を発見し,その原因を解明した(ニュースリリース)。

ダイヤモンドは優れた特性を有するため,半導体材料や電子デバイスへの応用が期待されている。特に,超短パルスレーザーの照射によりダイヤモンド内部は導電性をもつ黒色のアモルファスカーボンに変質することが知られており,近年はその応用手法が研究されている。

ダイヤモンド内部にワイヤー状の変質領域を作製する手法は次の通り。まず角柱のダイヤモンドの内部でレーザー焦点を移動することで,ダイヤモンドの裏面からレーザー照射面で
ある表面にかけて,黒色の変質領域がワイヤー状に作製できる。

この性質を利用し,ダイヤモンド内部に文字を書き込んだり,電気伝導路として利用できることが報告されているが,レーザー照射条件が変質領域の形状と導電性の関係に与える影響は未解明であるため,それらの制御は困難だった。

研究グループはまず,変質領域の形状とレーザーの強度分布との関係に着目した。レーザーを試料内部の1点に照射すると,部分的な変質領域が生成される。この形状と,レーザーの強度分布の関係を調べ,これらが同形であることを確認した。

次に,ダイヤモンドを移動し,この速度と変質領域の太さ,導電性の関係を調べたところ,「焦点移動速度が速い=単位長さあたりの総エネルギーが少ない」ほど導電性が上昇するという特異な現象を示す焦点移動速度の領域を発見した。

この現象は焦点移動速度が速いほど1パルスあたりの変質領域がより長くなることが必要であり,これはレーザー強度が高い部分でのみ,より効率的に変質されるためだと明らかにした。

変質領域の直径は焦点で最小になり,また,焦点移動速度が速いと直径が徐々に小さくなることから,焦点移動速度が速いほどよりレーザー焦点に近い(レーザー強度が高い)位置で線状の変質が作製されたことによるという。

また,一定より焦点移動速度が速い場合は,変質領域がワイヤー状につながらず不連続になるため,導電性が著しく減少することも明らかにした。

この研究は,高電圧用微細配線のような変質領域を利用した電子デバイスの開発に際して,変質領域の物性を制御するために必要不可欠なデータ。研究グループは今後,より微細かつ高い導電性を示す変質領域の作製に向けて研究を進めるとしている。

キーワード:

関連記事

  • 東大,球形のナノダイヤモンドを低温・低圧下で合成

    東京大学の研究グループは,原子分解能透過電子顕微鏡を用いて,ダイヤモンド骨格であるアダマンタン(Ad)の結晶に電子線照射することで,ナノサイズの球形のダイヤモンドを合成することに成功した(ニュースリリース)。 ダイヤモン…

    2025.09.12
  • 京大ら,背景光子がほぼ無いナノダイヤモンドを開発

    京都大学,千歳科学技術大学,量子科学技術研究開発機構は,Snイオンをナノダイヤモンドに注入し熱処理を施すことで,ノイズとなる背景光子の発生がほとんど無い,単一 SnV中心を内包するナノダイヤモンドの開発に成功した(ニュー…

    2025.08.19
  • 北大ら,人工ダイヤが極低温で軟らかくなる現象発見

    北海道大学,独ドレスデン強磁場研究所・ドレスデン工科大学,京都大学,新潟大学は,人工ダイヤモンドが極低温で軟らかくなる新現象を発見した(ニュースリリース)。 欠陥や不純物の少ない人工ダイヤモンドは,宝飾用用途や機械分野へ…

    2025.06.24
  • EDP,ダイヤモンド1インチ単結晶ウエハーを発売

    イーディーピーは,ダイヤモンド1インチ単結晶ウエハーの発売を4月24日より開始した(ニュースリリース)。 同社は大型のダイヤモンド単結晶を製作しており,種結晶や基板,光学部品などの分野に適用してきており,今年2月には,3…

    2025.05.07
  • Orbray,最大の双晶のない単結晶ダイヤ基板開発

    Orbray,最大の双晶のない単結晶ダイヤ基板開発

    Orbrayは,世界最大となる20mm×20mmサイズの双晶のない(111)単結晶ダイヤモンド自立基板の生産技術を開発した(ニュースリリース)。 ダイヤモンド半導体は,その優れた特性から様々な応用に向けたデバイス開発が進…

    2025.03.10
  • 【解説】ダイヤ+レーザーが地球深部を再現する

    ダイヤモンドは宝石として最高峰にあるが,科学分野においても重要な物質で,様々な応用がされている。例えば量子分野では,ダイヤモンド中に形成される窒素(N)と空孔(V)からなる格子欠陥「NVセンター」を,個体量子センサーや量…

    2025.03.06
  • 金沢大ら,完全原子的平坦ダイヤモンドMOSFE作製

    金沢大学,産業技術総合研究所,独Diamond and CarbonApplicationsは,世界で初めて完全に平坦なダイヤモンド表面をMOS界面に有するダイヤモンドMOSFETの作製に成功した(ニュースリリース)。 …

    2025.02.21
  • 東京科学大ら,量子センサ向け大径ダイヤ基板を実現

    東京科学大学,産業技術総合研究所,信越化学工業らで構成される文部科学省 光・量子飛躍フラッグシッププログラム(Q-LEAP)のグループは,異種基板上のヘテロエピ成長技術により,量子センサに適した(111)結晶方位とコヒー…

    2025.02.06

新着ニュース

人気記事

新着記事

  • オプトキャリア