光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」(11月17日(水)~19日(金),東京都立産業貿易センター浜松町館)において,太平貿易はSWIR検査システムの展示とデモを行なっている(赤外線フェア ブースNo.4R-40)。
これはSWIR(900nm~1700nm)に対応するシステムで,日本ピー・アイの光源,アバールデータのカメラ,そして米EXCELITASのマクロズームレンズ「Optem Fusion SWIR」を組み合わせている。
倍率7倍のこのレンズは,目的に合わせていくつかのモジュールを組み合わせるもので,デモでは鏡筒内に照明光を導く同軸落射照明を組み込んだシステムとして,半導体ウエハーの構造を裏面から撮影している。
用途としてはシリコンウエハー検査以外にも,太陽電池や食品,農作物の検査,偽造防止や不純物検査など様々なアプリケーションが考えられるという。デモのようなセットのほか,構成するそれぞれのデバイスを個別に買うこともできる。
モジュールの組み合わせによるが,「Optem Fusion SWIR」の価格は50万円~60万円だとしている。