ナノルクスら, IRマルチスペクトルセンサー実現

ナノルクス,奈良先端科学技術大学院大学の研究グループは,近赤外マルチスペクトルフィルターをFull HDイメージセンサー上に形成することに成功した(ニュースリリース)。

産業技術総合研究所保有の8インチ用ステッパー等フォトリソ加工装置群を使用し,表面に積層誘電体膜が形成された8インチSiイメジャー基盤(ピクセルサイズ:3um)に,複数回の高精度フォトリソ,エッチング加工を行ない,ベイヤー配列の近赤外線多層膜フィルターアレーを形成した。

今回の開発のポイントは,独自特許の多層膜構造(=ファブリーペロー基本構造)で,微細加工と薄膜(1.1um)を実現したことで,世界で初めて実用レベル(3umサイズの画素)のマルチスペクトルセンサーの製造が可能となり,脈波,監視など多様な活用方法が開けたことにあるという。

今後,同社は,同センサーを活用したバイタルセンシング,監視カメラの実用化に取り組んでいくとしている。

その他関連ニュース

  • 【注目製品】コスト減を目指す車載用遠赤外線ナイトビジョン 2024年06月05日
  • 東大ら,高精細・高感度なX線イメージセンサを作製 2024年05月13日
  • ローム,VCSELとLEDの特長融合した赤外線光源開発 2024年04月09日
  • 農工大,極めて薄い赤外線吸収メタサーフェスを実現 2024年03月05日
  • 公大ら,2光子光電子分光法で有機分子薄膜を観測 2024年03月04日
  • 理研ら,PV用シリコン薄膜堆積条件の最適化法を開発 2024年02月20日
  • ams OSRAM,AR/VR向け小型イメージセンサー発売 2024年02月08日
  • 東大,極性単結晶薄膜を塗布形成できる有機半導体開発 2024年01月30日