コヒレント,高速応答OEMパワーセンサーを発売

米コヒレントは,大面積で受光パワーの上限が高く,高速応答を可能としたレーザーパワーセンサー「PowerMax PRO OEM」の販売を開始した(会社HP)。

従来の半導体フォトダイオードや他のディテクタよりも優れた機能を実現し,プロセスウインドウの極めて狭いアプリケーションでの連続したインラインでのモニタリングに適しているという。

同社が特許を取得した薄膜積層型のテクノロジーを採用。フォトダイオードの高速応答性とサーモパイルの幅広い波長感度,広い測定エリアとダイナミックレンジ,高い耐損傷性をあわせて実現している。これにより,アンプや光学アッテネータを必要とするフォトダイオードよりも,コストを抑え高いパフォーマンスを実現できる。

また,CO2レーザーに有効で,広いパワーレンジに対応し,広い測定エリア(15x15mm2)と広い波長範囲で高速な応答と正確性,低ノイズの計測を実現。フォトダイオードで生じる応答ドリフトを防ぐことができる優れたコーティング技術により,UV波長の超短パルスレーザーの計測にも適しているという。

美容医療用システムのほか,マイクロエレクトロニクス製造での穴あけや,太陽電池や医療用器具の製造などを行なう高精度な微細加工システム,コンバーティングや包装パッケージ分野における加工機などに適した製品だとしている。

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