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キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノンは,4台の半導体製造用ナノインプリント装置をクラスター化したシステムを2016年にも量産することを,第62回応用物理学会春季学術講演会(講演番号12p-C3-4)で明らかにした。   同社は,2004年 […]