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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

NIMS,ダイヤモンド論理回路チップを開発

物質・材料研究機構(NIMS)は,過酷環境下に強いダイヤモンド集積回路を開発するための第一歩として,2種類の動作モードを持つ金属—酸化物—半導体(MOS)電界効果トランジスタ(FET)を組み合わせたダイヤモンド論理回路チ […]