ナノルクス，奈良先端科学技術大学院大学の研究グループは，近赤外マルチスペクトルフィルターをFull HDイメージセンサー上に形成することに成功した（ニュースリリース）。

産業技術総合研究所保有の8インチ用ステッパー等フォトリソ加工装置群を使用し，表面に積層誘電体膜が形成された8インチSiイメジャー基盤（ピクセルサイズ：3um）に，複数回の高精度フォトリソ，エッチング加工を行ない，ベイヤー配列の近赤外線多層膜フィルターアレーを形成した。

今回の開発のポイントは，独自特許の多層膜構造（＝ファブリーペロー基本構造）で，微細加工と薄膜（1.1um）を実現したことで，世界で初めて実用レベル（3umサイズの画素）のマルチスペクトルセンサーの製造が可能となり，脈波，監視など多様な活用方法が開けたことにあるという。

今後，同社は，同センサーを活用したバイタルセンシング，監視カメラの実用化に取り組んでいくとしている。