電子線広視野検査

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  • 日立ハイテク,EUV向け電子線検査システムを開発

    日立ハイテクは,電子線広視野検査システム「GS1000」を開発したことを発表した(ニュースリリース)。 近年,半導体デバイスの微細化が進むにつれ,先端デバイスメーカーは微細かつ高精度な加工が可能なEUV露光プロセスを導入...

    2021.12.14

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