感光性

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  • 三菱ケミ,EUV向け感光性ポリマー生産能力を増強

    三菱ケミカルグループは,フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため,三菱ケミカル九州事業所・福岡地区において,「ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソマックス」および「EUV(極端紫外線...

    2024.06.17

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