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リソグラフィー

リソグラフィーの記事一覧

全5件中 1〜5件目を表示

  • imec、EUV露光量低減の新たな可能性を提示

    imecは、EUV露光後リソグラフィー工程中のガス組成を精密に制御することで、必要な露光量の最小化が可能となることを発表した（ニュースリリース）。 金属酸化物レジスト（MOR）は、化学増幅型レジスト（CAR）と比較して、...

    2026.03.02

  • 京大ら，1nm半導体量子細線の作製に成功

    京都大学，東京大学，独フランクフルト大学は，グラファイト基板上に塩化ルテニウム（半導体）のナノ量子細線を作製する手法を発見した（ニュースリリース）。 半導体製造において，現在主流の電子ビーム・リソグラフィなどでは，細線の...

    2023.05.08

  • 阪大ら，露光でマイクロロボットをその場製造

    大阪大学，北陸先端科学技術大学院大学，岐阜大学は，マイクロ流路内でマイクロロボットの部品をプリント成形し，その場で組み立てることに成功した（ニュースリリース）。 マイクロロボット，特に柔軟な構造を持つロボットは，生物医学...

    2022.08.26

  • ウシオのEUV光源，量産プロセス向けに初検収

    ウシオ電機（ウシオ）は，検査装置メーカーより受注している複数のEUVリソグラフィマスク検査装置用EUV光源（EUV光源）のうち，量産プロセス向けEUV光源が初めて検収されたと発表した（ニュースリリース）。 EUVリソグラ...

    2019.07.17

  • ウシオ，VUVアライナーのエントリーモデルを発売

    ウシオ電機は，同社が開発した真空紫外光による親水化パターニング方式アライナー「VUVアライナー（SUS740）」のエントリーモデル「VUVエクスポージャー（SUS971）」の販売を7月より開始する（ニュースリリース）。 ...

    2019.06.04

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