ペリクル

ペリクルの記事一覧

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  • 三井化学, EUV露光用CNTペリクルの生産設備を設置

    三井化学は,半導体の更なる微細化,生産性向上に不可欠な次世代の高NA,高出力EUV露光装置に対応したEUV露光用CNT(カーボンナノチューブ)ペリクルの生産設備を同社岩国大竹工場に設置することを決定した(ニュースリリース...

    2024.06.03
  • 三井化学とimec,EUVで戦略的パートナーシップ締結

    三井化学とimecは,2023年12月13日,極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結した(ニュースリリース)。 この戦略的パー...

    2023.12.19
  • 三井化学,旭化成のフォトマスク関連事業を譲受

    三井化学は3月31日,旭化成が日本国内外で営むフォトマスク用ペリクル製品の製造,開発,販売に関する事業とその製造を請負う旭化成の連結子会社である旭化成EMSの全株式を,2023年7月1日(予定)に,旭化成から吸収分割によ...

    2023.04.04

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