フラットパネルディスプレー

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  • キヤノン,FPD露光装置を発売

    キヤノンは,第8世代ガラス基板(2,200×2,500mmサイズのガラス基板)に対応したFPD(フラットパネルディスプレー)露光装置の新製品として,1.5µm(L/S)の解像力と±0.35µmの重ね合わせ(オーバーレイ)...

    2022.07.26

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