スピンコート

スピンコートの記事一覧

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  • 東大,シリコンウエハー上に強誘電体結晶薄膜を作製

    東京大学の研究グループは,バッファ層とスピンコート法を組み合わせることにより,Si基板上に大面積の強誘電体結晶薄膜を作製するための新たな手法を開発した(ニュースリリース)。 これまでの強誘電体の研究において,薄膜作製手法...

    2024.07.19
  • 都市大,膜厚ムラの形成機構を解明

    東京都市大学は,光学機器に用いられるカラーフィルター等について,製造時に生じる「膜厚ムラ」の形成機構を解明し,このムラを回避・抑制するための指針を提案した(ニュースリリース)。 カメラやビデオ等の撮像素子に用いられるカラ...

    2019.09.17

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